بررسی خاصیت پیزورزیستیویته پلی سیلیکون با تاکیدبر رشد دانه ها و پارامتر های فرایند ساخت

چکیده مقاله

ویژگی های الکتریکی لایه های سیلیکو نی پلی کریستالی به ساختار دانه ها بستگی دارد این مقاله توصیف جامع از رشددانه پلی سیلیکون در طیف گسترده ایی از دوپینگ و شرایط پردازش را نشان می دهد , دوپینگ پلی سیلیکون با B , As , p می باشد این نتایج نشان میدهد که دوپینگ نوع n باعث افزایش رشد دانه می شود , در حالیکه دوپینگ نوع P دارای اثر ناچیزی است , تاثیر رشد دانه را بر روی خاصیت پیزورزیستیویته نیز مشاهده می شود

کلیدواژه‌ها

نویسندگان

زهرا رستمی بیستونی

دانش آموخته کارشناسی ارشد , گروه برق , دانشکده فنی مهندسی , دانشگاه آزاد اسلامی , واحد کرمانشاه , کرمانشاه , ایران

حمید شرافت وزیری

عضو هیات علمی , گروه برق , دانشکده فنی مهندسی , دانشگاه آزاد اسلامی , واحد کرمانشاه , کرمانشاه , ایران

�ستمی بیستونی، زهرا و شرافت وزیری، حمید،1397،بررسی خاصیت پیزورزیستیویته پلی سیلیکون با تاکیدبر رشد دانه ها و پارامتر های فرایند ساخت،کنگره بین المللی علوم مهندسی و توسعه شهری پایدار

ارائه‌شده در

مجموعه مقالات کنگره بین المللی علوم مهندسی و توسعه شهری پایدار20 شهریور 1397