مفاهیم و اجزای کلیدی در دستگاه های کاشت یونی ؛ گسترده ترین راهبردها و کاربردها

چکیده مقاله

در این مقاله به بررسی اصولی دستگاه کاشت یونی پرداخته می شود کاشت یونی، فرایندی پیچیده و پیشرفته در عرصه فناوری مواد و نیمه رساناها است که از طریق آن یون ها با انرژی بالا به درون یک ماده پاشیده می شوند این روش به طور گسترده در صنایع الکترونیک، پزشکی و تحقیقات مواد استفاده می شود مقاله حاضر تلاش دارد تا با بررسی اجزای کلیدی و مکانیزم های عملکردی دستگاه کاشت یونی، درک عمیق تری از این فناوری و کاربردهای آن ارائه دهد

کلیدواژه‌ها

نویسندگان

هومن تونی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین ع ، گرایش میکرو و نانو الکترونیک

سید محمد علوی

دانشیار دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین ع

�ونی، هومن و علوی، سید محمد،1402،مفاهیم و اجزای کلیدی در دستگاه های کاشت یونی ؛ گسترده ترین راهبردها و کاربردها،بیستمین کنفرانس ملی مهندسی برق ،کامپیوتر و مکانیک،شیروان

ارائه‌شده در

مجموعه مقالات بیست و یکمین کنفرانس ملی مهندسی برق،کامپیوتر و مکانیک31 اردیبهشت 1403 · شیروان