چکیده مقاله
سیستمهای تعلیق برای حذف تماس و کاهش اصطکاک مورداستفاده قرار میگیرند تاکنون روشهای متفاوتی برای تعلیق مورداستفاده قرارگرفته که ازجمله آنها میتوان به تعلیق مغناطیسی و آکوستیکی اشاره کرد با استفاده از سیستم تعلیق الکترواستاتیکی میتوان اجسام رسانا، نارسانا، نیمه رسانا، غیر فرو مغناطیس و حتی دیالکتریک ها را تعلیق کرد که این یکی از مزایای این روش است از تعلیق الکترواستاتیک در جابه جایی بدون تماس اجسامی که حساسیت بالایی به تماس داشته و باعث آسیب فیزیکی و یا تجمع الکتریسیته ی ساکن و جذب آلودگی و ذرات میگردد، استفاده میشود از تعلیق الکترواستاتیکی میتوان در جابه جایی قطعات بسیار ظریف و آسیب پذیر مانند صفحه نمایش کریستال مایع LED ، هارددیسک، ویفر سیلیکونی و نیز در سیستمهای میکرو الکترومکانیکی MEMS ، ریز یاتاقانها و ژیروسکوپ خلا استفاده نمود در این مقاله تحلیلی بر شکل الکترودها برای یافتن حداکثر نیروی الکترواستاتیک ایجادشده بر روی صفحاتی از جنسهای شیشه ی کوارتز، ویفر سیلیکونی و پلکسی گلس با نرم افزار COMSOL Multiphysics 5 4 شبیه سازی شده است
کلیدواژهها
نویسندگان
مهساسادات رشیدی زاویه
دانشجوی کارشناسی ارشد، مهندسی مکانیک گرایش ساخت و تولید، دانشگاه تربیت مدرس
یوسف حجت
استاد، مهندسی مکانیک گرایش ساخت و تولید، دانشگاه تربیت مدرس
محمد شیرکش
دانشجوی دکتری ، مهندسی مکانیک گرایش ساخت و تولید، دانشگاه تربیت مدرس
بهزاد قوامی نمین
دانشجوی دکتری ، مهندسی مکانیک گرایش ساخت و تولید، دانشگاه تربیت مدرس
شیوه ارجاع
�شیدی زاویه، مهساسادات و حجت، یوسف و شیرکش، محمد و قوامی نمین، بهزاد،1398،بررسی اثر هندسه ی الکترودها بر نیروی الکترواستاتیک در تعلیق الکترواستاتیک،شانزدهمین همایش ملی و پنجمین کنفرانس بین المللی مهندسی ساخت و تولید،تهران
ارائهشده در
مجموعه مقالات هفدهمین همایش ملی و ششمین کنفرانس بین المللی مهندسی ساخت و تولید12 اسفند 1399 · تهران