چکیده مقاله
پوشش اکسید آلومینیوم آلومینا بدلیل دارا بودن خواص متنوع مانند سختی بالا، مقاومت به خوردگی و سایش و داشتن خواص نوری خوب بطور گستردهای در زمینه های مختلف بخصوص صنایع الکترونیکی و تزئینی مورد استفاده قرار گرفته است در این تحقیق هدف ایجاد پوشش آلومینا بر روی فولاد ابزار T4 بوسیله فرآیند تبخیر واکنشی فعال شده و سپس بررسی مقادیر ولتاژ بایاس روی پوشش میباشد بدین منظور نمونه ها در محیط پلاسما تحت زمان اکسیژندهی 45 دقیقه، دمای زیرلایه С˚800 و مقادیر ولتاژ بایاس0، 50 و 100 ولت توسط فرآیند تبخیر واکنشی فعال شده پوشش داده شدند در نهایت جهت بررسی ساختار کریستالی توسط آنالیز XRD، ریزساختار و مورفولوژی لایه تشکیل شده توسط آنالیز SEM، جهت بررسی زبری پوشش از آنالیز AFM و همچنین جهت بررسی سختی سنجی پوشش از روش سختی سنجی ویکرز مورد استفاده قرار گرفت نتایج نشان داد که هر چه ولتاژ بایاس زیرلایه بیشترباشد زبری پوشش بیشتر می شود همچنین نمونه هایی که باردار شده اند Biased سختی بالاتری نسبت به نمونه هایی که باردار نشده اندرا دارا می باشند که این مطلب می تواند ناشی از متراکم تر شدن لایه ی تشکیل شده به علت جذب بیشتر یون های اکسیژن موجود در محیط پلاسما باشد
کلیدواژهها
نویسندگان
شیوه ارجاع
پولادوند، ایمان و تلخابی، علی و اسماعیلی، علیرضا،1398،تاثیر مقادیر ولتاژ بایاس بر روی پوشش اکسید آلومینیوم به روش تبخیر واکنشی فعال شده برروی فولاد ابزار T4،شانزدهمین همایش ملی و پنجمین کنفرانس بین المللی مهندسی ساخت و تولید،تهران
ارائهشده در
مجموعه مقالات شانزدهمین همایش ملی و پنجمین کنفرانس بین المللی مهندسی ساخت و تولید27 آذر 1398 · تهران