بررسی فشار سنج های خازنی MEMS و بهینه سازی آنها

چکیده مقاله

سیستم میکروالکترومکانیکی MEMS در این عصر از صنعت بیشترین نیاز را در بخشهای مختلف اعم از صنعت، پزشکی، خودروسازی، هوافضا، صنایع و ابزارهایی که در زندگی روزمره از آنها استفاده میکنیم مانند تلفنهای همراه پیدا کرده است از اینرو میتوان گفت پیشرفت در علم و سازه های سنسور فشار MEMS در واقع پیشرفت در بخشهای مهم صنعتی، پزشکی و است در این پایان نامه با بررسی سنسور های فشار خازنی MEMS و طراحی و آنالیز آنها توسط نرم افزار COMSOL تلاشی برای بهینه سازی این نوع سنسورها انجام شده است با افزایش چند میکرومتری دیافراگم و تغییر جنس زیر لایه و ابعاد سنسور به افزایش ظرفیت و تحمل فشار تا چند صد مگاپاسگال پرداخته شده است

کلیدواژه‌ها

نویسندگان

زهرا اکبری جدیدی

دانشجوی کارشناسی ارشد، گروه برق، موسسه آموزش عالی و غیرانتفاعی پاسارگاد، شیراز، ایران

�کبری جدیدی، زهرا،1399،بررسی فشار سنج های خازنی MEMS و بهینه سازی آنها،هشتمین کنفرانس بین المللی نوآوری و تحقیق در علوم مهندس�

ارائه‌شده در

مجموعه مقالات هشتمین کنفرانس بین المللی نوآوری و تحقیق در علوم مهندسی2 اسفند 1399