چکیده مقاله
در تحقیق حاضر، رفتار هارمونیک و فرکانسی رزوناتور حلقوی ژیروسکوپ های MEMS بر پایه مکانیزم تحریک پیزوالکتریک به کمک نرم افزار CoventorWare مورد تحلیل قرار گرفته اند در همین راستا شبیه سازی بر روی نمونه های نیترید آلومینیونم AIN و تیتانات زیرکونات سرب PZT با ساختار پروسکایت صورت پذیرفت در این روش از مدلسازی المان محدود برای بدست آوردن پاسخ فرکانسی و میزان جابجایی دو نمونه استفاده شد
کلیدواژهها
نویسندگان
کامران کشاورزدیوکلایی
دانشجوی دکتری نانوالکترونیک انستیتو رادیوالکترونیک، الکترونیک و اتوماسیون مسکو دانشگاه فنی
شیوه ارجاع
کشاورزدیوکلایی، کامران،1397،رزوناتور حلقوی پیزوالکتریک و کاربردهای آن در ژیروسکوپ های میکروالکترومکانیکی،دومین کنفرانس زیرساخت های انرژی،مهندسی برق و نانو فناوری،تهران
ارائهشده در
مجموعه مقالات دومین کنفرانس زیرساخت های انرژی،مهندسی برق و نانو فناوری19 اردیبهشت 1397 · تهران