م مقاله کنفرانسی سال ۱۳۹۳ ۸۸۱ مشاهده شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی جبران سازی حرارتیوابستگی حرارتیحسگر فشار خازنی