مروری جامع بر کاربرد هوش مصنوعی و یادگیری ماشینی در پیش بینی، بهینه سازی و کنترل فرآیندهای لایه نشانی لایه های نازک برای بهبود خواص الکترونی، یکنواختی سطح و عملکرد دستگاه های الکترونیکی نوین
لایه های نازکفرآیندهای لایه نشانیهوش مصنوعی