م مقاله کنفرانسی سال ۱۳۸۴ ۱,۷۱۶ مشاهده طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA بعلت گسترش روند استفاده از قطعات کوچک در محصولات مختلف، اغلب اینگونه قطعات از جمله قطعات MEMS در فراینده… میکروفیکسچرموقعیت دهی دقیقجابجایی MEMS