م مقاله کنفرانسی سال ۱۳۹۷ ۱,۰۰۷ مشاهده تاثیر شعاع نسبی ابزار بر ماشینکاری فوق دقیق ویفر سیلیکون تک کریستال فرآیند ماشین کاری فوق دقیق، روشی پیشرفته جهت تولید سطوح با دقت و صافی سطح نانومتری می باشد با استفاده از… شعاع نسبی ابزارسیلیکون تککریستال