م مقاله کنفرانسی سال ۱۳۹۵ ۶۳۶ مشاهده شبیه سازی گیج خلاء یونی با نرم افزار comsol و بهبود حساسیت آن گیج خلاء یونی کاتد گرم یکی از گیج های خلاء مهم در اندازه گیری فشار خیلی کم یا خلاء خیلی خیلی زیاد UHV می… یونیزاسیونمیکروماشینcomsol