طراحی و ساخت میکروفیکسچر به روش UV-LIGA
بعلت گسترش روند استفاده از قطعات کوچک در محصولات مختلف، اغلب اینگونه قطعات از جمله قطعات MEMS در فرایندهای تولید دسته ای و به صورت انبوه ساخته می شون…
میکروفیکسچرموقعیت دهی دقیقجابجایی MEMS