ساختار متحرک

طراحی و ساخت ساختار مکانیکی نوین برای میکروحسگر اندازه گیری زاویه میکروالکترومکانیکی(MEMS) با تکنولوژی میکروماشینکاری

میکرو حسگر های غیرتماسی اندازه گیری زاویه با اصول مختلفی ساخته شده اند حسگر های میکروماشینکاری شده که در ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS مورد…