شبیه سازی گیج خلاء یونی با نرم افزار comsol و بهبود حساسیت آن
گیج خلاء یونی کاتد گرم یکی از گیج های خلاء مهم در اندازه گیری فشار خیلی کم یا خلاء خیلی خیلی زیاد UHV می باشد این گیج ده ها سال است که برای اندازه گی…
یونیزاسیونمیکروماشینcomsol