بررسی تاثیر پارامتر ضخامت براده تغییر شکل نیافته در ماشین کاری فوق دقیق سیلیکون

چکیده مقاله

سیلیکون تک بلور به عنوان یکی از پرکاربردترین مواد در صنایع، پیشرفته به ویژه در حوزه های اپتیک نیمه رسانا و میکروالکترونیک جایگاه ویژه ای دارد از سوی دیگر ماشین کاری فوق دقیق سیلیکون تک بلور با ابزار الماس تک نقطه ای روشی کلیدی در تولید قطعات اپتیکی و نیمه رسانا محسوب می شود در این پژوهش تاثیر ضخامت براده تغییر شکل نیافته hmax بر کیفیت سطح و تغییرات زیرسطحی بررسی شده است نتایج نشان داد که افزایش hmax موجب تغییر در زبری سطح و تشکیل لایه آمورف سطحی می شود تحلیل آزمون پرتو پراش ایکس کاهش شدت پیک های بلوری و تشکیل لایه آمورف سطحی را تایید کرد همچنین بررسی جهت های کریستالی نشان داد که آسیب های سطحی عمدتا در راستای رخ می دهند نمودار زمان ماشین کاری نشان داد که در ضخامت های مختلف براده، تغییر نیافته زمان رسیدن به حد آستانه زبری سطح و همچنین تعداد قطعات تولید شده متفاوت است تست ها بر اساس hmax مرتب شده و محدوده بهینه حدود ۱۰۰ nm تعیین گردید این نتایج می تواند مبنای بهینه سازی فرآیند ماشین کاری فوق دقیق سیلیکون تک کریستال قرار گیرد

کلیدواژه‌ها

نویسندگان

محمد داوری دولت آبادی

دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی شاهرود، شاهرود، ایران

مهدی حیدری

دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی شاهرود، شاهرود، ایران

�اوری دولت آبادی، محمد و حیدری، مهدی،1404،بررسی تاثیر پارامتر ضخامت براده تغییر شکل نیافته در ماشین کاری فوق دقیق سیلیکون،بیست و دومین همایش ملی و یازدهمین کنفرانس بین المللی مهندسی ساخت و تولید ایران،تهران

ارائه‌شده در

یازدهمین کنفرانس بین المللی بررسی مسائل جاری زبان ها، زبان شناسی، ترجمه و ادبیات13 بهمن 1404 · اهواز