چکیده مقاله
یکی از مهمترین کاربردها در بحث MEMS ، سوییچ های RF MEMS می باشد و مهمترین عامل در این سوییچ ها نوع و مقدار تحریک است که در این مقاله مرا از تحریک الکترواستاتیکی برای راه اندازی مورد استفاده قرار دادیم و تاثیر تغییرات هندسه و شکل حفره ها روی ولتاژ پولینگ را به صورت کامل بررسی و در نرم افزار ANSYS مورد آنالیز و تحلیل قرار داده شد نتایج بدست آمده نشان می دهد که بیشترین تاثیر برای کاهش ولتاژ پولینگ، ابعاد صفحه و کمترین تغییرات به ازای تغییر شکل حفره ها حاصل می گردد
کلیدواژهها
نویسندگان
مسعود گلی فسقندیس
دانش آموخته کارشناسی ارشد دانشکده برق و الکترونیک دانشگاه آزاد واحد علوم و تحقیقات تبریز ایران
شیوه ارجاع
گلی فسقندیس، مسعود،1395،بررسی اثرات هندسه بر روی ولتاژ پولینگ در سوییچ های RF MEMS به منظور کاهش ولتاژ تحریک،سومین کنفرانس سراسری نوآوری های اخیر در مهندسی برق و کامپیوتر،تهران
ارائهشده در
مجموعه مقالات سومین کنفرانس سراسری نوآوری های اخیر در مهندسی برق و کامپیوتر19 شهریور 1395 · تهران