MEMS

Feasibility Study of Utilizing MEMS Actuators in Fab-ricating Future Insect-Like MAVs

This paper presents an investigation of utilizing microelectromechanical systems MEMS actuators in developing insect like micro aerial vehicles MAVs…

Analysis and improvement of electro thermal microactuators

In this article we study the effect of a conductive layer on top surface of an electro thermal microactuator and compare with the dominant electro th…

طراحی و شبیه سازی یک سلف متغیرRF-MEMS بامحرک الکتروگرمایی

دراین مقاله یک سلف تنظیم پذیر میکروالکترومکانیکی بارنج تنظیم پذیری و ضریب کیفیت بالا درحوزه RF ارایه شده است این سلف تنظیم پذیر دارای ساختارمارپیچی ب…

بررسی اثر دما بر کارکرد شتاب سنجهای خازنی

شتابسنج های خازنی از پر کاربردترین محصولات MEMS میباشند یکی از مواردی که مانع از استفاده گسترده تر این نوع شتابسنجها می باشد، عملکرد آنها در بازهی دم…

طراحی تحلیل وشبیه سازی یک میکروسنسورخازنی شیب

دراین مقاله یک ساختارجدید برای سنسورشیب مبتنی برتکنولوژی MEMS ارایه شده است عملکرداین میکرو سنسورخازنی شیب به شکل تحلیلی مورد بررسی قرارگرفته و معادل…

بررسی اثرات کشش وخمش دررفتار استاتیکی و دینامیکی میکروصفحه مدور

در این مقاله رفتار الکترومکانیکی دو میکروصفحه مدور متفاوت به عنوان ضروری ترین مولفه میکروپمپ ها بررسی می شود از روش خطی سازی پله به پله گلرکین SSLM ب…

طراحی و شبیه سازی مدارهای تحریک و خواندن با نویز کم برای ژیروسکوپ های MEMS

بررسی اثرات هندسه بر روی ولتاژ پولینگ در سوییچ های RF MEMS به منظور کاهش ولتاژ تحریک

یکی از مهمترین کاربردها در بحث MEMS ، سوییچ های RF MEMS می باشد و مهمترین عامل در این سوییچ ها نوع و مقدار تحریک است که در این مقاله مرا از تحریک الک…