چکیده مقاله
تا این تاریخ، آنالیزهای مقداری کمّی بسیار واضحی از پدیده دریفت SPM در فرآیندهای نانوساخت نانومنیپولیشن و نانوتصویرگیری ارائه نشده است زیرا تا به حال تحلیل مکانیکی مشخصی از سیستم صورت نگرفته و تمامی بیان ها فقط از سر حدس و گمان بوده است در این مقاله آنالیز کمّی پدیده دریفت که عامل اصلی خطا در این سیستمها می باشد، انجام و مقدار آن در فرآیند تصویرگیری و همچنین فرآیند نانوساخت نانومنیپولیشن تخمین زده می شود با درنظرگرفتن گرمای تولیدی در اکچویتور پیزوتیوب، مقدار دریفت سیستم محاسبه شده و نتایج بدست آمده به خوبی با نتایج تجربی انجام شده توسط گروهی فعال در این زمینه مطابقت دارد
کلیدواژهها
میکروسکوپ پروبی روبشی رانش حرارتی نانومنیپولیشن تحلیل فضایی نانوسازه
نویسندگان
صادق صادق زاده
دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
محرم حبیب نژاد کورایم
استاد گروه مهندسی مکانیک دانشگاه علم و صنعت ایران
شیوه ارجاع
�ادق زاده، صادق و حبیب نژاد کورایم، محرم،1387،تحلیل و شناسایی خطای محیطی میکروسکوپهای پروبی روبشی در فرآیند ساخت نانوسازه ها،نهمین کنفرانس مهندسی ساخت و تولید،بیرجند
ارائهشده در
مجموعه مقالات نهمین کنفرانس مهندسی ساخت و تولید13 اسفند 1387 · بیرجند