فرایند اکسیداسیون در نیمه هادی ها: از تئوری تا پیشرفت ها

چکیده مقاله

اکسیداسیون در نیمه هادی ها یک فرآیند کلیدی در تولید و عملکرد دستگاه های الکترونیکی است این فرآیند شامل واکنش نیمه هادی با اکسیژن برای تشکیل یک لایه اکسید است این لایه اکسید می تواند خواص الکتریکی و فیزیکی نیمه هادی را بهبود بخشد و به عنوان یک عایق الکتریکی، محافظت از سطح نیمه هادی، و بهبود عملکرد دستگاه های الکترونیکی عمل کند اکسیداسیون نقش حیاتی در فناوری هایی مانند ترانزیستورهای اثر میدان FET ، دیودها، و سلول های خورشیدی ایفا می کند فرآیند اکسیداسیون می تواند تحت شرایط مختلفی مانند دما، فشار، و ترکیب گازها کنترل شود تا ویژگی های مطلوبی به دست آید در نتیجه، درک دقیق و کنترل این فرآیند برای بهبود کارایی و قابلیت اطمینان دستگاه های نیمه هادی بسیار مهم است

کلیدواژه‌ها

نویسندگان

Mohammad Jalalyzadeh

دانشجوی ارشد دانشگاه جامع امام حسین ع

Seyed Mohammad Alavi

دانشیار دانشگاه جامع امام حسین ع

�لالی زاده، محمد و علوی، سید محمد،1403،فرایند اکسیداسیون در نیمه هادی ها: از تئوری تا پیشرفت ها،پنجمین کنفرانس بین المللی هوش مصنوعی و چشم انداز آینده آن در علوم مهندسی برق ، کامپیوتر ، مکانیک و مخابرات،مشهد

ارائه‌شده در

مجموعه مقالات پنجمین کنفرانس بین المللی هوش مصنوعی و چشم انداز آینده آن در علوم مهندسی برق ، کامپیوتر ، مکانیک و مخابرات17 اسفند 1403 · مشهد