چکیده مقاله
حسگر هیدروژنی بر اساس ساختار فلز اکسید نیمرسانا ساخته شده است تاثیر ضخامت لایه اکسید بر روی زمان پاسخ دهی و زمان برگشت پذیری مورد بررسی قرار گرفته است بالاترین پاسخ دهی و کمترین زمان پاسخ دهی و برگشت پذیری حسگر به گاز هیدروژن برای نمونه های مختلف بررسی شده است نتایج نشان می دهند که ساختار Ni/SiO2/Si یک حسگر با سرعت پاسخ دهی بالا برای آشکارسازی گاز هیدروژن می باشد مقایسه حسگرهای خازنی مختلف اطلاعات مفیدی را در مورد پارامترهای تاثیر گذار بر ساختار MOS به دست می دهد
کلیدواژهها
نویسندگان
قباد بهزادی پور
گروه فیزیک، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
لیلا فکری اول
گروه فیزیک، واحد تهران شرق، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران
شیوه ارجاع
�هزادی پور، قباد و فکری اول، لیلا،1395،بررسی ساختار خازنی برای آشکارسازی گاز هیدروژن با استفاده از نانو سنسور MOS،اولین کنفرانس ملی مهندسی انرژی و نانو فناوری ایران،تهران
ارائهشده در
مجموعه مقالات اولین کنفرانس ملی مهندسی انرژی و نانو فناوری ایران3 اسفند 1395 · تهران