بررسی ساختار خازنی برای آشکارسازی گاز هیدروژن با استفاده از نانو سنسور MOS
حسگر هیدروژنی بر اساس ساختار فلز اکسید نیمرسانا ساخته شده است تاثیر ضخامت لایه اکسید بر روی زمان پاسخ دهی و زمان برگشت پذیری مورد بررسی قرار گرفته اس…
پاسخ دهیلایه نازکنانو سنسور