بررسی ترمودینامیکی و سینتیکی پدیده سیخک زنی آلومینیوم–سیلیکون و روش های مهندسی کنترل آن در فناوری های VLSI
پدیده سیخک زنی آلومینیوم–سیلیکون Al–Si Spiking یکی از چالش های اساسی در فرآیند متالیزاسیون مدارهای مجتمع…
متالیزاسیوننفوذسیلیکون