بررسی تاثیر اندازه ذرات و غلظت سیال درفرآیند پرداخت شیمیایی– مکانیکی ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4)
روش پرداخت شیمیایی مکانیکی Chemical Mechanical Polishing CMP روشی نو برای پرداخت سطوح سرامیکهای پیشرفته…
سیلیکون نیترایدسطح کرویپرداخت سطح