بررسی اثرات کشش وخمش دررفتار استاتیکی و دینامیکی میکروصفحه مدور
در این مقاله رفتار الکترومکانیکی دو میکروصفحه مدور متفاوت به عنوان ضروری ترین مولفه میکروپمپ ها بررسی می شود از روش خطی سازی پله به پله گلرکین SSLM ب…
میکروصفحه مدورMEMSمیکروپمپها