چکیده مقاله
در این مقاله رفتار الکترومکانیکی دو میکروصفحه مدور متفاوت به عنوان ضروری ترین مولفه میکروپمپ ها بررسی می شود از روش خطی سازی پله به پله گلرکین SSLM برای حل معادلات نیمه دیفرانسیلی غیر خطی استفاده شده است عدم خطی بودن معادلات ناشی از وجود بار گذاری الکترواستاتیکی و توجه به اثرات کششی است شرایط کشش داخلی برای هر دو صفحه نازک و ضخیم شناسایی شد با خطی سازی درمورد نقاط اجرایی، خصوصیات ارتعاش و لرزه به عنوان تابعی از ولتاژهای انحرافی مطالعه شده وفرکانس طبیعی و واکنش فرکانس آن به شیوه ای دقیق ارائه گردید در نهایت با مقایسه هر دو مورد معلوم شد که در مورد دیافراگم های نازک، اثرات خمشی قابل اجتناب بوده و در مورد دیافراگم های ضخیم، اثرات خمشی در مواردی قابل چشم پوشی هستند که مقدار کشش چندان مهم نباشد
کلیدواژهها
نویسندگان
شیوه ارجاع
�سکری خواه، وحید و کاشانی اصل، شهرام و شعبانی، رسول،1390،بررسی اثرات کشش وخمش دررفتار استاتیکی و دینامیکی میکروصفحه مدور،دوازدهمین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید ایران،تهران