سایش مکانیکی

رویکرد های نوین پرداخت سطح در مقیاس نانومتری و اتمی

این مقاله به بررسی رویکردهای پولیش در مقیاس اتمی و نزدیک به اتمی می پردازد و روش های مختلفی از جمله پولیش مکانیکی شیمیایی CMP ، پولیش به کمک پالسما P…