بررسی ترمودینامیکی و سینتیکی پدیده سیخک زنی آلومینیوم–سیلیکون و روش های مهندسی کنترل آن در فناوری های VLSI
پدیده سیخک زنی آلومینیوم–سیلیکون Al–Si Spiking یکی از چالش های اساسی در فرآیند متالیزاسیون مدارهای مجتمع با مقیاس ادغام بسیار بالا VLSI محسوب می شود…
متالیزاسیوننفوذسیلیکون