بررسی استوکیومتری و آهنگ لایه نشانی اکسید تنگستن با تغییر شار گاز اکسیژن در فرایند هایپیمز (HiPIMS)
در این پژوهش، تاثیر تغییر شار گاز اکسیژن بر استوکیومتری و آهنگ لایه نشانی لایه های نازک اکسید تنگستن WO تهیه شده به روش کندوپاش پالسی با توان بالا Hi…
استوکیومتریآهنگ لایه نشانیاکسید