بهینه سازی پارامترهای لیزر فرابنفش در میکرولیتوگرافی لیزری برای کمینه سازی اندازه پرتو لیزر روی فتورزیست شیپلی
این پژوهش بر توسعه و بهینه سازی پارامترهای یک دستگاه میکرولیتوگرافی لیزری مستقیم با هدف ایجاد ریزالگوهای با دقت بالا بر روی لایه حساس به نور فتورزیست…
میکرولیتوگرافی لیزریمستقیمفتورزیست شیپلی