بررسی نقش بازپخت حرارتی سریع (RTA) در بهبود خواص الکتریکی ویفرهای سیلیکونی پس از کاشت یون
کاشت یون به عنوان یکی از فرآیندهای کلیدی در فناوری ساخت ادوات نیمه هادی، به منظور کنترل دقیق نوع و غلظت ناخالصی ها در ویفرهای سیلیکونی به کار گرفته م…
خواص الکتریکیبازپخت حرارتی سریعکاشت یون