بررسی تاثیر اندازه ذرات و غلظت سیال درفرآیند پرداخت شیمیایی– مکانیکی ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4)
روش پرداخت شیمیایی مکانیکی Chemical Mechanical Polishing CMP روشی نو برای پرداخت سطوح سرامیکهای پیشرفته با سختی بالا است از جمله ی این سرامیکها ساچمه…
سیلیکون نیترایدسطح کرویپرداخت سطح